压力传感器与检测仪表的发展历程如同宇宙的无尽扩展而应用则是其星辰大海中闪耀的璀璨明珠三种类型静电式温

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  • 2025年02月28日
  • 在当今工业技术的海洋中,压力传感器与检测仪表如同指挥舰,航行于复杂的水域。这些器件能够将非电量转化为电信号,其精确性和稳定性对于工业生产过程的控制至关重要。而检测仪表则是现代工业设备中的智慧之心,它们不仅包含传感器、检测点取样设备、放大器以及电源和现场显示部分,还能通过模拟电子技术实现抗干扰处理及信号传输。 在数字化时代浪潮中,检测仪表经历了显著的技术革新与迭代发展。近年来

压力传感器与检测仪表的发展历程如同宇宙的无尽扩展而应用则是其星辰大海中闪耀的璀璨明珠三种类型静电式温

在当今工业技术的海洋中,压力传感器与检测仪表如同指挥舰,航行于复杂的水域。这些器件能够将非电量转化为电信号,其精确性和稳定性对于工业生产过程的控制至关重要。而检测仪表则是现代工业设备中的智慧之心,它们不仅包含传感器、检测点取样设备、放大器以及电源和现场显示部分,还能通过模拟电子技术实现抗干扰处理及信号传输。

在数字化时代浪潮中,检测仪表经历了显著的技术革新与迭代发展。近年来,多采用ASIC(专用集成电路)技术,将传感器、微处理器及网络接口集成在一个器件中,以实现信息获取、处理、传输、存储等功能的一体化。在自动化仪表领域,检测仪表常被称为变送器,如问题变送器或压力变送器等,这些变送器不仅提升了测量精度和稳定性,还实现了数据的实时传输和远程监控,为工业生产过程提供了强有力的支持。

压力传感者的历史可以追溯到70多年前,它们的发展历程可划分为以下四个阶段:

发明阶段(1945-1960年)

这一阶段以1947年的双极性晶体管发明为里程碑。自此半导体材料特殊性的应用开始普及。1945年史密斯发现硅与锗压阻效应,即外力作用半导体材料其电阻变化显著。这一原理研究人员制成了早期压力传感者,将应变片粘贴金属薄膜上,使得对应信号转换为电信号进行测量。这一阶段制作最小尺寸约1cm。

发展阶段(1960-1970年)

随着硅扩散技艺进步,可直接将应变片扩散晶面上,并加工成凹形硅杯形式。这种形式具有小体积、高灵敏度好成本低便于集成优点,为商业化奠基基础。

商业化阶段(1970-1980年)

这一段利用硅杯扩散理论,各向异性腐蚀得到了广泛应用,其中包括V槽法浓硼自动中止法阳极氧化法自动中止法微机控制自动中止法等。此工艺数千片同时操作降低成本支持大规模商业生产模式。

微机械加工阶段(1980年代至今)

自纳米技艺出现,可以由计算机精确控制加工出结构型式使得进入微米级时代推动开发精密化发展。

如今广泛用于各行业领域,对家用汽车信息产业三方面需求呈现爆发增长推动制造业繁荣拉动半导体设备制造业繁荣。